SF6 tai rikkiheksafluoridi on kaasu, jota käytetään yleisesti kuivaetsauksessa, jota käytetään pääasiassa piietsaukseen puolijohteiden tuotantoprosessissa. SF6-kaasulla on oktaederinen rakenne, joka koostuu keskeisestä rikkiatomista, jota ympäröi kuusi fluoriatomia. Sen ei-polaariset ominaisuudet tekevät siitä eristävän kaasun suurjännitesähkölaitteissa. SF6:n fysikaalisiin ominaisuuksiin kuuluvat väritön, hajuton, syttymätön, myrkytön, eristävä, ilmaa raskaampi, jäähdytyskapasiteetti, korkea dielektrinen lujuus, lämpöstabiilisuus ja huono liukoisuus veteen, mutta liukenee ei-polaarisiin orgaanisiin liuottimiin.
Kemiallisten ominaisuuksien suhteen SF6 tuskin reagoi muiden aineiden kanssa huoneenlämpötilassa, mutta hajoaa voimakkaan ultraviolettivalon alla.
SF6: ta tuottavat yleensä teollisuus, ja sen sisältö luonteeltaan on hyvin pieni. SF6 -tuotannon reaktioyhtälö on:
2 cof₃ + sf₄ + [br₂] → sf₆ + 2 cof₂ + [br₂]
Kun SF₄, Cof₃ ja Br₂ sekoitetaan yhteen ja lämmitetään 100 asteessa, reaktio tapahtuu niiden välillä. Tässä reaktiossa osa SF₄: stä ja COF₃: sta reagoi tuottamaan SF₆ ja Cof₂. Bromia ei kuluteta reaktiossa, se toimii vain katalysaattorina.
Onko SF6 vaarallinen?
Vaikka SF6 ei ole myrkyllinen puhtaassa tilassaan, se syrjäyttää happea ilmasta ja yli 19% ilmassa yli 19%: n tilavuuspitoisuus aiheuttaa tukehtumisen. Siksi on erittäin tärkeää havaita SF6 -vuodot ajoissa ja ryhtyä asianmukaisiin ennaltaehkäiseviin toimenpiteisiin puolijohteiden valmistusprosessissa.
SF6 -käyttö puolijohdeteollisuudessa
SF6:ta käytetään laajalti puolijohteiden valmistuksessa. Piin etsausprosessissa SF6:ta käytetään pääsyövytyskaasuna, ja se toimii yhdessä syntyneiden haihtuvien kaasujen SF4 ja C4F8 kanssa syväsyövytyksen aikaansaamiseksi. Lisäksi SF6:ta käytetään usein Mo- ja W-metallien kuivaetsaukseen, jolloin se reagoi näiden metallien kanssa muodostaen haihtuvia heksafluorideja MoF6 ja WF6. Vaikka SF6 ei ole edullinen kaasu alumiinin syövytykseen, sitä voidaan käyttää apukaasuna parantamaan alumiinin syövytysnopeutta, kun se sekoitetaan kaasujen, kuten Cl2:n, kanssa.
Piin etsaus
Piin etsausvaiheessa syövytetään vain pohjassa oleva pii, josta passivointikalvo on poistettu. SF6-kaasua syötetään ja SF6 hajoaa plasmassa, jolloin muodostuu erilaisia hajoamistuotteita, mukaan lukien erittäin aktiiviset fluoriatomit (F).
SF6-->SF4+F2-->SF2+2F2-->F+...
Syntyneet fluoriatomit reagoivat piipinnan kanssa muodostaen piitetrafluoridia (SiF4), haihtuvaa yhdistettä, joka poistuu helposti kammiosta.
Si+4F-->SiF4
Pohja passivointikerroksen etsaus
Tässä vaiheessa sekä sivuseinämään että pohjaan muodostuu passiiviskerros. Haluamme kuitenkin pitää sivuseinämän passiiviskerroksen vain suojaseinämän suojaamiseksi syövytykseltä, mutta meidän on poistettava pohjan passiiviskerros etsaamaan alaspäin. Siksi SF6 -kaasua otetaan käyttöön tällä hetkellä hyökkäämään pohjan passiiviskerrokseen. Kun pohjan passivointikerros katoaa, SF6 etsii edelleen piitä ja sykli toistuu, kuten loputon silmukka.
Yhden luukun Sf6 rikkiheksafluoriditehdas Kiinassa
Lähetä meille tutkimuksesi rikkiheksafluoridista SF6 -kaasusta meille!
Tarjoamme korkealaatuista SF6-kaasua ja palveluita ostotarpeiden tyydyttämiseksi.
Lähetä kysely nyt
